中科院自主研制新型紫外纳米压印光刻机-【新闻】
发布时间:2021-05-16 16:05:57
阅读:次
来源:网带厂家
23日从中科院光电技术研究所获悉,该所微电子专用设备研发团队自主研制成功紫外纳米压印光刻机。
据中科院光电所微电子装备总体研究室主任胡松介绍,该所自主研发的新型光刻机,将纳米压印这一新型高分辨力光刻技术,与具有低成本、高效率特点的紫外光刻技术有机结合。
记者了解到,这套设备采用新型纳米对准技术,将原光刻设备的对准精度由亚微米量级提升至纳米量级。对准是光刻设备三大核心指标之一,是实现功能化器件加工的关键。该所在国家自然基金的连续资助下,完成基于莫尔条纹的高精度对准技术自主研发,取得专利20余项。
“该技术在光刻机中的成功应用突破了现有纳米尺度结构加工的瓶颈问题,为高精度纳米器件的加工提供了技术保障。”胡松说。
据悉,该设备可广泛应用于微纳流控晶片加工、微纳光学元件、微纳光栅、NMEMS器件等微纳结构器件的制备,具有广阔的应用前景,目前已完成初试和小批生产,并已在高校与企业用户中推广。
相关阅读
- 传统制造业如何跑赢智造这场比赛金鱼养殖绳索筒灯写字台弹簧Frc
- 无线SCADA案例公共交通射频天线河间打字机给水泵泵轴承Frc
- 浅析机床多轴化的优势惠州债券投资手机贴膜水泵开关牙轮钻头Frc
- 四大智慧城市出炉照明灯具迎革命性变化烫金机滤清器压力锅热电阻磷化液Frc
- 2011年中国日用塑料制品产量为436万浓缩设备焊台焊接薄板管封口机密封机Frc
- 美国封杀中兴对中国农机行业的启示纤维吊带丁苯橡胶喷雾系统汽车质押智能水表Frc
- 中船绿洲推出新型5米折臂伸缩式起重机压缩设备电机外壳泡壳电子钟表自攻螺丝Frc
- 科天云整体协作解决方案助信达生物制药创新双工器刮刀汽车天窗云母片滤波器Frc
- 武汉元帅新能源智能充电站解析我国汽车充电电表壳密山封头气雾阀测量工具Frc
- 印度计划投资一万亿美元用于基础设施建设0首饰包装专业丙纶纤维切边机数码钢琴Frc